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随着高性能切削加工的发展,在高转速、高温极端服役条件下,刀具产生的严重磨损、摩擦氧化和表面疲劳,极大地限制了其使用寿命。国内企业使用最多的TiN涂层开始满足不了加工的需要,科研工作者开始采取往单一的薄膜,特别是Ti-N系薄膜里添加各种元素,或者制备多层膜的方法,以期达到更为优异的性能。本论文采用直流反应磁控溅射的方法,在不锈钢基底上制备了一系列W-N单层膜、Ti-W-N复合膜、TiN/WN多层膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)及能谱分析仪(EDS)对薄膜的微结构及成分进行了分析