对于需要利用平行光使物体成像的机器视觉测量仪,有时由于受到仪器自身尺寸条件的限制,使其在较短距离内无法产生一束理想的平行光,从而影响了实时测量的精度和速度。由于全息技术具有真实再现原物光场的特性,加之边缘照明技术具有大大节省空间的作用,本文提出把根据全息原理和边缘照明技术制作好的全息元件应用到这类机器视觉测量仪的内部光路中,对其原来产生平行光的光路加以改进,尝试解决这一问题。通过多次实验,当使入射光从边缘照亮全息元件时,再现出来的平行光的平行度经平晶检验依然很理想,能够降低测量的误差,提高实时测量的精度和速度。本文对机器视觉及全息原理的基本理论进行了详细介绍,提出了机器视觉测量系统的内部成像光路中存在照明光源平行度不理想的问题,并对现有应对方法进行了简单的对比分析,发现这些解决方法仍然存在各自的不足。在此基础上,本文提出了利用全息技术解决光源平行度的方案。首先借助MATLAB软件对这一方案理论上的可行性进行了验证,之后通过搭建全息实验光路进行实验验证,实验时,让参考光与物光分别以60°、66°、72°的夹角进行干涉,多次实验结果表明,衍射再现出来的光是理想的平行光,可以达到减小机器视觉测量系统的测量误差的效果。