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超精密运动平台是步进扫描式光刻机的核心部件之一。生产上对半导体光刻设备高质量和高效率的不断追求，迫使其运动平台朝着高速、高加速度进一步发展。因此，如何减小甚至消除高速、高加速运动对整个光刻设备的振动冲击，保证半导体器件的光刻质量，就成为半导体光刻设备研制过程中一个亟待解决的问题。本文研究的内容源自于国家自然科学基金项目：“精密机械减振隔振术”。论文的主要目标是设计出能模拟光刻机动力学特征和运动特征的隔振试验平台，为后续的隔振、减振研究提供实体模型和硬件基础。而论文的主要内容则是设计