介质阻挡放电等离子体已经被广泛地应用于挥发性有机化合物、CO、SO_x、NO_x等污染物的脱除中。实验表明，OH、HO₂自由基属于强氧化剂，在上述过程中起到了非常重要的作用，受到广泛地关注。因此，对介质阻挡放电等离子体中OH、HO₂等自由基的性质和它们随外界条件变化规律的研究成为一个重要的研究课题，值得深入探讨。本论文对介质阻挡放电反应体系进行了化学动力学模拟。通过追赶法解Boltzmann方程，得到电子能量分布函数，利用得到的电子能量分布函数计算电子-分子碰撞反应速率常数。然后把反应的速率常数带入速率方程，通过FORTRAN编程采用特雷纳法求解。并将模拟结果与实验数据进行了直接对比，二者总体上符合得较好。主要研究内容和结果如下：1．模拟研究了H₂O／He体系在介质阻挡放电中，OH（X²Π）、OH（A²∑⁺）和电子的浓度随时间的演变及它们在不同气体组分和放电条件影响下的变化趋势。结果表明OH（X²Π）、OH（A²∑⁺）的浓度随H₂O、O₂、N₂含量的增加先增加后减少；此外，当电子密度、放电电压、放电频率增加时，OH（X²Π）、OH（A²∑⁺）自由基的浓度随之增加。在论文中讨论并分析了产生上述结果的主要物理化学反应过程和机理。2．通过模拟得到介质阻挡放电N₂／O₂／H₂O／HCHO体系中OH、HO₂以及电子的浓度随时间的演变过程及其它们在不同的气体组分和放电条件影响下的变化趋势。在所研究的范围内OH、HO₂自由基的浓度随H₂O、O₂含量的增加先增加后减少，分别存在一极值；当HCHO含量增加时，HO₂浓度增加，OH浓度减少；随放电频率，放电电压的增大，OH自由基浓度增加，HO₂自由基的浓度先增加后减少；当气体压力增加时，OH、HO₂自由基的浓度在4000 Pa时存在一个峰值。并在文中解释了出现上述结果的原因。我们从数值模拟的角度研究了OH、HO₂自由基的性质及其受外界条件影响的变化趋势，为实验提供了一定的理论参考。