熔石英元件纳米SiO2超光滑低缺陷射流抛光技术研究

来源 :国防科学技术大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：youlishi

【摘要】

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【作者】

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杨平

【出处】

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国防科学技术大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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纳米SiO2射流抛光去除机理抛光装置 Fluent仿真超光滑低缺陷

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