超导磁通量子比特的制备及Al/AlO_x/Al结特性参数的研究

来源 :南京大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：basilmhb

【摘要】

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【作者】

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王林

【出处】

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南京大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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超导量子比特制各工艺 Al/AlO_x/Al隧道结漏电比静态氧化势垒层厚度相位扩散

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