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无论是应用在切割工具，光学组件或是微电子器件上，控制金刚石的结构与形貌在许多工业应用中都有着重要意义。本文利用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)设备研究了基体温度、气体压强和氮元素对薄膜形貌与织构的影响。通过利用SEM和XRD对薄膜的形貌与织构进行分析，得出结论如下： 1．HFCVD中工艺参数对金刚石薄膜的形貌与织构有着重要影响。 (1) 在20～60Torr的气体压强范围内，随着基体温度的升高，生长参数Γ减小。 (2)