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等离子体是一个复杂的多参量体系,对电子密度,电子温度、活性粒子密度、电子能量分布等参量进行诊断,是低温等离子体研究的重要工作。在等离子体诊断技术中,利用微波和等离子体相互作用的等离子体参数诊断技术具有无扰动、时间分辨率高等特点;不同的相互作用机制发展出了多样化的微波诊断方法,其在等离子体特性研究中发挥着越来越重要的作用。本文设计构建了零拍微波干涉仪诊断系统,并用其对电容耦合等离子体密度进行了测量,对干涉仪系统的性能进行了分析。利用质量能量分析仪对氢气等离子体离子特征进行了诊断,研究了氢气分子束流引入