【摘 要】
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SrFeO3-δ薄膜是一种新型的氧传感器材料。本论文讨论了该铁酸锶溶胶的配制、薄膜的制备以及测试了材料的氧敏性能,并对SrFeO3-δ薄膜掺杂机理进行探讨。详细讨论了以Fe(NO3)
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SrFeO3-δ薄膜是一种新型的氧传感器材料。本论文讨论了该铁酸锶溶胶的配制、薄膜的制备以及测试了材料的氧敏性能,并对SrFeO3-δ薄膜掺杂机理进行探讨。详细讨论了以Fe(NO3)3、Sr(NO3)2 和柠檬酸为原料的铁酸锶溶胶配制过程。指出了柠檬酸的螯合作用,通过X-ray衍射分析和扫描电镜(SEM)分析,确定烧成温度为900℃。测试了铁酸锶薄膜氧敏性能和铜、钴元素的掺杂对氧敏性能的影响。研究发现:拉膜次数11次时,氧敏性能最好,同样拉膜次数的掺杂铁酸锶薄膜,以掺10%铜元素的试样氧敏性能最好,氧分压与气氛关系系数m的值在2-3左右。并且铁酸锶在较大氧分压范围内是P型半导体材料,更有利于稀薄燃烧系统氧传感器的应用。此外,还作了双掺杂铁、钴元素的钛酸锶氧敏性能的研究,结果表明:不同元素掺杂量改变了薄膜的表面形貌,铁含量越高,薄膜空洞越多。另外双掺杂使钛酸锶薄膜的氧敏性能有一定的提高。
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