论文部分内容阅读
MEMS继电器或开关类器件,具有线性度好、响应时间快、体积小以及便于批量制造等一系列优点。鉴于此,本文提出了一个利用双层膜效应实现电热驱动,利用悬梁交错锁定的闭锁机构实现无功耗稳态保持的微开关。这个设计充分发挥了电热微驱动器,驱动力大,能量密度高,以及与IC制造兼容等优点。我们利用微机械加工工艺,利用多元材料组合,成功实现了电热微开关的集成制造,并且测试了其性能。本文完成的主要研究工作和结论包括以下几个方面:本文提出了一种利用悬梁交错锁定实现无功耗稳态保持的电热微开关,完成了该器件的原型设计