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扫描探针显微镜是目前一种用途广泛的表面分析仪器,它不仅广泛应用于物理、化学、生物、医学等基础研究领域,还在微纳制造和微电子等的应用研究领域中发挥着越来越重要的作用。然而,目前商业化的扫描探针显微镜主要为单一探针的工作模式,其功能相对单一,难以实现一些较为复杂的实验及检测功能。例如,在特殊环境下(如真空或辐射环境)的微观磨损实验中,若采用单一探针模式,在完成磨损实验后,需要更换曲率半径更小的针尖才能对表面磨损区域进行原位的高分辨形貌扫描与观测。然而,在更换针尖的过程中,微观磨损的实验环境势必会遭到破坏