【摘 要】
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MgO属于面心立方结构,晶格常数为4.213(?),具有很多优良的性质,可作为功能性氧化物薄膜材料与硅衬底之间的缓冲层、等离子体显示器(PDP)的介质保护层以及微通道板的打拿极材料等
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MgO属于面心立方结构,晶格常数为4.213(?),具有很多优良的性质,可作为功能性氧化物薄膜材料与硅衬底之间的缓冲层、等离子体显示器(PDP)的介质保护层以及微通道板的打拿极材料等。本论文以醋酸镁为前驱物,采用溶胶-凝胶甩胶法在Si衬底上制备了MgO薄膜,讨论了溶胶浓度、薄膜层数和退火温度等对薄膜质量的影响,在氧气氛围下经600℃退火处理后得到具有(200)(220)晶相的MgO薄膜,通过在前驱体配制时加入一定量的醋酸锌调节MgO的电阻率,使其满足微通道板导电层对电阻率的要求,在理论上对MgO的二次电子发射特性进行分析,给出MgO薄膜作为打拿极发射层有效膜厚参考值为1.13-1.52nm,并对用MgO作为打拿级发射层材料时硅微通道板的增益进行模拟分析,在相同的实验条件下,MgO薄膜作打拿极发射层时得到的微通道板增益要高于SiO2作打拿极发射层的增益。
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