【摘 要】
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随着近年来电子信息技术的快速发展,世界已逐渐进入以物联网和智能制造为主导的新时代。目前所用电子设备的集成度在不断地增加而其外观尺寸却在不断减小,所用材料的特征尺度也不断地减小到微米甚至纳米尺度。微/纳米尺度金属材料(例如Au、Cu和Al)因其良好的导电性能,是集成电路和柔性电子器件中重要的电极和导电互连材料,承担着为电子器件中各个分立的功能单元传输电信号的功能。这些微/纳尺度的金属薄膜在日常使用中
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随着近年来电子信息技术的快速发展,世界已逐渐进入以物联网和智能制造为主导的新时代。目前所用电子设备的集成度在不断地增加而其外观尺寸却在不断减小,所用材料的特征尺度也不断地减小到微米甚至纳米尺度。微/纳米尺度金属材料(例如Au、Cu和Al)因其良好的导电性能,是集成电路和柔性电子器件中重要的电极和导电互连材料,承担着为电子器件中各个分立的功能单元传输电信号的功能。这些微/纳尺度的金属薄膜在日常使用中往往会承受较高的温度或机械变形,例如,在超大规模集成电路中,金属薄膜不可避免地承受着较高的电流密度和周期
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