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平面超声波电机是一种具有多向驱动自由度的电机,相比较于传统由多电机组成的平面驱动机构,平面超声波电机具有驱动精密、功率密度大、响应快、结构紧凑、电磁兼容、噪声低和断电自锁等优点。本文着力于十字叉平面超声波电机的研究,主要完成了以下工作内容:首先,归纳了超声波电机的国内外发展历史,指出了超声波电机的应用现状及未来的发展走向,并对超声波电机驱动机理进行了详细的研究;其次,推出基于十字结构定子的两自由度超声波电机,该电机通过定子一个面外弯振和两个面内弯振的两两组合,可以形成两个方向的驱动。通过对定子振型及