片式NiCrAlSi合金电阻的修阻工艺研究

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片式电阻具有体积小、精度高、稳定性好等优点,在自动化生产中主要采用激光修阻机实现阻值的微调。精密型片式合金电阻的阻值通常为毫欧级别(0.1mΩ~500mΩ),为了使电阻阻值达到标称值附近(1%、0.5%、0.1%),以提高电阻精度与生产合格率,目前主要采用:低功率激光表层打薄技术、机械钻孔或打磨技术。由于上述两种技术比较耗时,电阻生产效率低,故本文采用效率更高的高功率激光修阻技术进行NiCrAlSi合金电阻的修阻实验。首先,介绍了高功率激光修阻机的系统组成、主要参数、切割原理以及测量原理。接着,介绍了合金电阻上存在切割路径时的阻值计算方法,并使用ANSYS软件模拟了二维状态的NiCrAlSi合金电阻在切割路径(I型刀口)的影响下,阻值随切割长度的变化情况。然后,介绍了几种描述湍流流场的模型,并重点介绍了“可实现k-ε模型”。最后,应用Gambit与Fluent软件模拟了切割头喷嘴在自由空间射流与平板对撞射流中的流场分布,指出了在设定的模拟条件下(@2.5Mpa),将在平板细缝背面两侧各存在一个气流静止区(直径约为160um)。实验:分别讨论了8种工艺参数(激光功率、激光频率、切割速度、喷嘴孔径、离焦量、工作距离、辅助气体压力以及激光入射角)对合金电阻切割质量的影响情况,其中激光功率、喷嘴孔径、工作距离、辅助气体压力以及激光入射角对合金电阻挂渣(尤其是切缝背面起刀口附近)影响较大。优化实验:利用正交试验法对合金电阻的修阻工艺参数进行实验,然后采用直观分析法与信噪比法分别分析正交实验结果,并对预测的优化参数进行验证,最终结论表明,直观分析法能进行工艺参数的优化,但优化结果不理想;而经信噪比法优化后的工艺参数,能明显改善切割质量;使用经信噪比法优化后的工艺参数进行片式NiCrAlSi合金电阻的修阻,相应的切割结果均达到修阻指标的要求。
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