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本文主要目的是制备晶粒尺寸小,性能优异的Al2O3/TiC磁头衬底材料,以满足磁头器件小型化发展的需求。采用原位反应合成和放电等离子体烧结(SPS)技术相结合的方法制备了Al2O3/TiC复合材料,具体包括下列内容:
首先采用的方法是以低成本的TiO2,Al,C为初始原料,行星球磨湿混结合SPS技术原位反应烧结,此方法难以得到致密均匀的复合材料;以Al2O3,Ti,C为原料,采用相同的工艺也没有得到致密的复合材料。由于此方法分散工艺的局限性,原料粉末难以反应完全,不能获得满足磁头衬底要求的复合材料。
然后我们改变球磨工艺,采用高能球磨技术反应合成粉体。高能球磨技术不仅可以使粉体分散均匀,颗粒细化,而且可以在室温促使原位反应的发生合成纳米复合粉体。
最后以加入部分原料抑制自蔓延燃烧反应发生为指导思想,设计了如下制备路线。