【摘 要】
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光学薄膜的抗损伤性能对激光器的输出结果、光学元件的使用寿命均有严重影响,薄膜损伤阂值作为衡量光学薄膜抗激光损伤性能的重要指标,能够得到准确测量对薄膜领域的研究工作
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光学薄膜的抗损伤性能对激光器的输出结果、光学元件的使用寿命均有严重影响,薄膜损伤阂值作为衡量光学薄膜抗激光损伤性能的重要指标,能够得到准确测量对薄膜领域的研究工作非常有意义。为此研究者们发展了多种薄膜损伤阈值测试方法,但仍有明显的不足之处。其一是手动方式测量引入的人为因素较多,导致测量精度低。其二是所选用的激光器工作方式及参数、测量方法、损伤判别标准存在差异,测量结果不一致,不能作为参考标准。因此自动测试薄膜损伤阈值系统的研究显得尤为重要。本文根据国际标准ISO11254组建薄膜损伤阈值测量系统,采用在线图像法作为损伤判别方法。该方法的工作原理是:计算机对比激光入射前后样品的图像变化,当灰度值不同时认为薄膜发生损伤。代替人工目视观察样品的变化,提高判别精度。自动测试软件在VB环境下开发,软件包括:高能脉冲激光器、程控衰减器、薄膜损伤智能判别系统、样品二维程控台等单元的控制系统,及控制系统上位机操作界面(启动界面、标定界面、探测调整界面、参数设置界面,测试界面)。在各操作界面中设置相应测试阶段所需硬件设备的被控控件,通过触发被控控件即可完成与硬件设备的链接,实现对各硬件设备的自动控制,通信串口承担被控控件与硬件设备的通信工作。依据零几率损伤阈值算法开发了数据处理软件,可在线拟合曲线,给出测量结果。可视化操作化界面,便于用户操作。所完成的工作包括设计操作界面、编写控制程序。操作界面易操作、便于人机交换。控制程序完成各硬件设备与工控机之间的串口通信及相关参数的设置,运行控制程序,实现薄膜损伤阂值的自动化、智能化测量。分析测量结果,其数据重复性强,控制系统稳定性较好。
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