随着科技的不断发展进步,工业领域加工精密程度的提升愈发重要,如何实现精确测量成为了一个重要课题。本论文在对某工业化各型号微波谐振腔内部结构分析归类的基础上,根据当前常用的测距原理,比较分析,使用三角测距原理方法,并应用机器视觉技术,实现了自动化、高精度、高速度的扫描。本论文主要研究内容如下:(1)在分析比较测距原理后,完成基于三角测距原理的激光位移传感器的选型,并针对其结构设计合适的夹具。并对整个硬件系统各部分做了详细的介绍。(2)针对不同腔体内部结构特点,结合三角测距光路特性,对扫描路径方案做了详细的规划,使每部分都能成功测量。(3)软件层面实现自动化扫描的选取坐标点工作,通过导入不同型号腔体设计图,对设计图采取区域裁剪以及模板匹配等方法,找出定位孔,由孔中心像素坐标以及实际尺寸坐标建立仿射变换,获得所测型号腔体的全部对应尺寸坐标。通过应用机台顶视相机以及工业相机拍图,通过区域裁剪、阈值筛选以及模板匹配等方法找出定位孔,建立机台坐标与顶视相机拍摄图片像素坐标投影变换,所选尺寸坐标经过变换参考系后转换为机台坐标,从而建立了设计图选点到实际机台实现的过程。(4)分析得到不同速率下扫描数据比较结果,并定于以机台移动速度200mm/s、扫描速度40mm/s进行取数工作,并完成了对高度尺寸测量的稳定性分析及精度分析,对于不同型号腔体,一般扫描点数在200到300之间,扫描时间都保证在7分钟以内,相比原工厂测量时间缩短达到10倍,实现了高效率测距。