射频微机电系统(RFMEMS)器件以其优良的微波特性，以及多功能、低功耗、线性和低成本等优点，正成为近年来无线通信领域的研究热点，RFMEMS开关是通信系统中的关键器件之一。 本文主要作了三方面的工作。首先，采用MEMS开关微波等效电路的概念及分析方法，建立了感性可调MEMS电容性膜开关的“关”态谐振频率选择模型和“开”态阻抗匹配模型，推导出关于“开”态阻抗匹配与“关”态谐振频率的统一公式，并对X波段MEMS电容性膜开关做了具体分析。 其次，基于以上模型，论述了宽带双膜桥开关的设计原理及实现。通过T形与π形的“开”态阻抗匹配，显著地降低了开关的反射损耗。通过“关”态谐振频率的控制，在开关的频响阻带内产生两个传输零点，明显提高了开关的带宽，并保持了其高隔离度特性，而且有一定程度的小型化。 最后，介绍了MEMS器件的多物理耦合场仿真的方法与理论，在综述了国内外常用的一些建立宏模型的方法与理论的基础上，利用新型的网格划分的方法，建立了VHDL语言描述的MEMS开关宏模型，并给出其电场—磁场耦合的模拟仿真结果，在MEMS器件的多物理耦合场协同仿真及MEMSCAD方面做了探索与尝试。