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TiO_2具有催化性高、稳定性好、无毒等优越的性能且价格低廉，因而得到了广泛应用。利用纳米TiO_2光催化进行污染物处理，是一项颇有发展前途的催化处理技术。本文制备了纳米TiO_2薄膜和掺杂TiO_2薄膜，分析了薄膜的成分、组织结构和光学性能，并通过模拟计算探讨了掺氮对TiO_2电子能带结构的影响及光吸收性能提高的机理。采用电子束加热蒸发离子束辅助沉积的方法制备了四种薄膜：TiO_2薄膜、低掺氮TiO_2薄膜、高掺氮TiO_2薄膜、掺氮及PdO的TiO_2薄膜。本实验通过控制基片座的