UQS机理及鉴码齿轮集一体化工艺研究

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本文从UQS的基本原理出发,利用贝努利概率模型、相关性原理等数学工具,对UQS码的0阶相关、一阶相关、二阶相关性,在全部定义域内进行了讨论,得到了8条UQS码所必须具备的数学特性。同时,对UQS码维数的抗相关性干扰能力也进行了一定的研究。根据研究得到的UQS码的数学特性,开发了一种切实可行的UQS码生成算法,并利用计算机编程实现了此算法,得到了UQS码数据库。 根据UQS码数据库设计生成齿轮型鉴码机构的机械构造。针对准LIGA技术只能加工准三维体的不足,为减小后续装配工作中的位置误差和累积误差,研究了一种一体化加工完成三维结构的加工方法。该方法是用基于SU-8胶的准LIGA加工技术,结合多层套刻、种子层、表面活化技术来实现。通过试验摸索,使用基片底面加工对焦基准图形的方法实现多层套刻,使用Cu作为电铸Ni的种子层,同时还得到一个切实可行的表面活化溶液配方,并成功一体化加工完成了鉴码齿轮集,对进一步拓展准LIGA工艺的应用范围和推广MEMS密码锁的应用具有重要的意义。
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