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微纳定位技术是现代高新科技和现代工业中的一项关键技术,在精密制造、超精测量和微操纵等诸多领域有着广泛的应用。近年来,现代科学技术和工业的不断发展,对微纳定位技术提出了大行程、高精度、小体积和快速响应等更高的要求,其中对定位精度和分辨率的要求达到了纳米量级。微纳定位技术的水平反映了一个国家的科技发展状况和综合实力,开展微纳定位技术的相关研究,对促进我国先进制造、超精密加工与测量、国防军工等高新技术行业的快速发展有着重大而深远的意义。论文在综述国内外关于微纳定位平台系统研究与应用现状的基础上,