薄膜生长初期过程的计算机模拟

被引量 : 20次 | 上传用户：panshuangchun

【摘要】

：

在原子尺度上揭示膜层形成初期粒子的微观变化过程及膜层微观结构的演化规律,对深入了解表面粒子的迁移、吸附和成核,对改进和优化薄膜生长工艺、提高薄膜质量、改善薄膜性质具有重要意义。本文运用蒙特卡罗方法对薄膜生长进行模拟,分析基体表面几何形貌对薄膜生长过程中成核的影响,提出利用六方密堆格子点阵模型;用哈密顿函数和Lennard-Jones势函数描述基体与表面及沉积粒子间形成的系统的能量,合理考虑了表面上

【作者】

：

吕跃凤

【机构】

：

西安电子科技大学

【发表日期】

：

2006年01期

【关键词】

：

薄膜生长沉积过程蒙特卡罗方法势函数分子动力学

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

气溶胶前向角度散射信号提取及大气能见度反演研究

气象光学视程(气象能见度)是表征大气光学特性的客观指标，是影响航空、航海、陆上交通以及军事等领域工作的重要气象参数。开展气象能见度连续自动检测方法研究和系统研制具有

学位

大气光学

钙钛矿锰氧化物纳米材料的制备及相关物性研究

在过去二十年中，具有钙钛矿结构的锰氧化物材料以其丰富的物理性质和在磁性传感器和磁记录材料方面的潜在的应用前景而引起了人们极大的兴趣。近几年，随着纳米材料科学的兴起，人

学位

锰氧化物纳米材料尺寸效应磁性质电荷有序

气溶胶消光系数的测量

气溶胶是指悬浮在大气中的直径在1nm到100μm的各种固态和液态微粒。气溶胶的来源、尺度、浓度以及化学组分的时空多变性，导致气溶胶光学特性的时空差异。虽然气溶胶颗粒在大

学位

气溶胶消光系数Chernin多通池光学特性微粒测量

激光照射与氮离子注入对绿色木霉纤素酶的生物效应研究

纤维素是地球上数量最大的可再生性能源物质，微生物对它的降解、转化是自然界碳素循环的重要环节，对这个过程的有效利用可望在能源，饲料和食物的持续供应上发挥巨大的作用。正是

学位

氮离子注入激光绿色木霉纤维素酶生物效应

掺杂Sr<,2>Bi<,4>Ti<,5>O<,18>薄膜铁电性能研究

本论文着重于Sr_2Bi_4Ti_5O_(18) (SBTi)层状钙钛矿铁电薄膜的制备及其掺杂后的薄膜材料的微结构、铁电、疲劳性能的研究。这些研究对于指导设计有实用性能的用于非易失性铁电随机存储器的新型铁电材料有一定的指导作用。本文首先报道了用溶胶-凝胶法在Si /SiO_2 /Ti /Pt基片上制备了性能优良的SBTi铁电薄膜材料。X射线衍射、扫描电子环境和原子力显微镜分析表明了所沉积的薄膜具有

学位

铁电性能铁电材料薄膜材料溶胶凝胶法

基于EMD的多普勒测风激光雷达信号处理方法研究

风是气候学和大气动力学研究的重要参数之一，大气中风速的精确测量对研究全球气候变化，提高数值天气预报的精度，减小各种气象灾害的影响等方面具有重要的意义。多普勒测风激光雷

学位

激光雷达

反钙钛矿结构镍基化合物研究

反钙钛矿结构化合物的晶体结构与钙钛矿结构氧化物相似，但其物性却较后者有很大差异，且目前对其研究较少。反钙钛矿结构的新型超导体MgCNi3以其简单的立方晶体结构和高磁性元素

学位

凝聚态物

国有上市企业党建工作中存在的问题

东方电机厂是一家国有控股上市企业,现有党员2700多人,其中在岗党员1500多人,有一个直属分党委,84个党支部,其中在岗职工党支部70个。目前,无论从东电党员队伍建设的实践来

期刊

党员队伍东方电机厂企业党组织党员发展流动党员先锋模范作用从国党性观念党的领导紧迫性认识

新一代光敏剂竹红菌素（HA）的光学特性分析

光动力疗法(Photodynamic therapy，PDT)治疗恶性肿瘤是近20年来兴起并不断发展的一项高新技术，其基本原理是借助于光与光敏药物的相互作用产生的细胞毒性物质杀伤肿瘤细胞，达到缓解和治疗肿瘤的目的。本论文阐述了PDT治疗肿瘤的基本特色及其发展趋势，指出了PDT治疗的独特优点：能够选择性地消灭局部的原发和复发肿瘤，而基本不危及正常组织；毒副作用小，可改善患者的生活质量；治疗方便，疗程

学位

光动力疗法光敏剂竹红菌素(HA)光谱光漂白

膜片式光纤法布里-珀罗干涉型超声传感器地震物理模型成像技术研究

学位

薄膜生长初期过程的计算机模拟

其他学术论文