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【摘 要】
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随着纳米技术的发展,精密定位技术己成为许多现代工业领域和前沿科学技术研究的共同基础。压电致动的微位移驱动器因体积小,位移分辨率高,频响高,承载力大等特点,在输入电压
【出 处】
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重庆大学
【发表日期】
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2004年期
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