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【摘 要】
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随着微电子机械系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)工艺的不断进步与完善,越来越多的微机械结构得以设计并制造出来。这些可动的微机械结构大多尺寸很小,需要用到大量的薄膜结构。但是由于薄膜结构的力学行为与宏观的大块机械材料之间的差距很大,所以不能用我们所熟知的宏观机械材料的机械参数来衡量薄膜结构材料的力学性能。因此,在线测试对于每一批次的薄膜材料特性的监控具有
【机 构】
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东南大学
【发表日期】
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2018年01期
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