金属镍毛细管具有机械强度高、韧性好、抗蚀、防锈等特点,在化工、微电子、医疗等领域有重要的应用,在取代传统易碎的石英玻璃毛细管传输CO2激光方面更是有着巨大的优势,然而内表面较大的粗糙度大大限制了其广泛的应用。目前,文献中关于金属毛细管内表面抛光方面的报道十分稀少,研究金属毛细管内表面抛光方法,研制高效抛光镍毛细管内表面的抛光液日趋紧迫。本文结合化学抛光与金属毛细管内部狭长的特点,采用了一种使用液体蠕动泵抛光金属毛细管内表面的方法,探讨了抛光液浓度、抛光时间、泵流量等因素对内表面抛光效果的影响,着重研究了盐酸、硫酸、磷酸对抛光效果的影响,分别研制出以盐酸、硫酸、磷酸为腐蚀剂的三种能高效抛光内表面的化学抛光液。通过表面粗糙度测量仪、扫描电子显微镜(SEM)以及光纤损耗测量仪器表征了抛光前后镍毛细管内表面的性质。表面粗糙度测量仪测得的粗糙度表明,盐酸系抛光液可将内表面算术平均粗糙度降低到0.650μm以下,硫酸系抛光液可将内表面算术平均粗糙度降低到0.560μm以下,磷酸系抛光液可将内表面算术平均粗糙度降低到0.520μm以下。通过扫描电子显微镜观察发现抛光后的镍毛细管的内表面质量比抛光前的内表面质量好很多。测量光纤损耗发现抛光后的镍毛细管用于传输CO2激光时,有较低的光纤损耗值。通过所做的大量实验,分析了内表面在化学抛光过程中的浸蚀、光亮、过腐蚀阶段的变化情况,讨论了镍毛细管内表面化学抛光过程中影响其内表面质量的因素,对金属毛细管类的抛光有指导借鉴作用。