具有光学透明特性的宽阻带频率选择表面研究

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频率选择表面(Frequency selective surface,FSS)由于对不同工作频率、极化状态及入射角度的电磁波选择透过,因而广泛应用于现代天线与微波通信系统中。5G的到来为终端用户与基础设施之间提供了更大的互联性,但同时也对强调安全的实体构成了挑战。为了在建筑物玻璃上嵌入FSS时,能够保持光学透明特性的同时屏蔽无用信号,并且保证在建筑物内部能够进行安全通信,本论文基于具有光学透明的导电铟锡氧化物(Indium Tin Oxide,ITO)薄膜,系统的研究了带阻型FSS结构的设计、分析、加工以及测量,具体研究内容如下:(1)分析与测量了透明导电薄膜基本特性参数。首先,对比各类型透明导电薄膜的特性参数,选取以涤纶树脂(Polyethylene terephthalate,PET)为基底的铟锡氧化物(Indium Tin Oxide,ITO)透明导电薄膜作为本设计所用材料。利用空间法对ITO-PET导电薄膜的方阻在宽频带(1-16GHz)进行测量,并与厂家给定的方阻值进行对比。结果表明,本设计所用ITO-PET透明导电薄膜具有稳定和可靠的标称值。同时,由于透明导电薄膜表面有较大的表面电阻,会产生一定的传输衰减。(2)基于ITO-PET导电薄膜设计了具有透明特性的宽阻带FSS。首先,以孔径型FSS为设计原型,深入分析谐振频率下的电流与电场分布,建立孔径型FSS的初始等效电路模型。随后,分析并改进该初始等效电路模型,实现了宽阻带带阻滤波响应,并依此进行了带阻FSS的结构设计。在设计过程中,基于曲线拟合方法,准确建立了等效电路参数与FSS结构参数之间的联系。(3)加工并测量了具有透明特性的宽阻带FSS。首先,通过对比各类薄膜刻蚀技术的工艺流程与技术要求,选用了成熟、高效的干法加工中的激光刻蚀技术对本设计的宽阻带FSS进行加工制作,并阐述了具体的工艺步骤。随后,空间散射参数测量方法,对所加工的样品进行了测试,并详细地给出了测量过程以及数据的校准过程。最后,对测量结果进行系统的分析评估:1.75GHz处实现带阻滤波响应,相对带宽(-3d B)373.54%,带内损耗1.5dB。
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