离子交换条形光波导的制备与特性测试及Y分支光波导的设计

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玻璃基离子交换光波导器件以其低损耗、与单模光纤良好的匹配性以及低廉的成本,在集成光学中有着无可比拟的重要性、实用性及商用价值,在光通信领域有极大的应用前景。条形波导和Y分支波导是各种光波导器件的构成基础,具有重要的研究价值。本文求解并模拟了离子交换光波导的折射率分布模型,应用有限差分光束传输法FD-BPM模拟分析了离子交换条形波导的光场传输并设计了余弦型Y分支波导;我们在K9玻璃基底上,应用光刻工艺技术,经过Ag+-Na+离子交换,制作玻璃基离子交换条形光波导,并采用加辅助电场的方法制作掩埋条形波导;设计建立起可以对光波导与光纤进行耦合测试的实验装置——光纤—波导耦合测试对准系统,并采用端面耦合技术,通过近场模式法对波导传输光斑分析,得到波导折射率分布;在此系统的基础上,我们还设计了一套测量波导损耗的方案。实验证明我们成功制备了折射率为渐变式的条形波导和掩埋型光波导,折射率分布接近高斯分布。测试结果表明我们实验室已经具备了制作测试光波导的折射率分布、插入损耗等特性的能力,为我们进一步优化离子交换条形光波导制作工艺并制作Y分支光波导提供了重要的依据和参考价值,为今后实验室中光功率分配器和光耦合器等集成光学器件的制作奠定了良好的基础。
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