论文部分内容阅读
铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池作为最有潜力的薄膜太阳能电池之一,具有吸收系数高、带隙可调、性能稳定、抗辐射能力强等优点。目前,一般采用三步共蒸发法制备CIGS太阳能电池的吸收层Cu(In_(0.7)Ga_(0.3))Se_2(CIGS)薄膜。尽管三步共蒸法在应用于高效率的CIGS电池器件的制备上已经取得很大进展,但其沉积过程中对各元素的蒸发速率精确的控制要求和复杂的工艺给大规模生产带来了困难。另一种CIGS薄膜制备的主流方法为溅射金属预置层后硒化法,但硒化过程受很多参数影响,造成了此工艺技术的复杂性