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为了提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能，提出了一种基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型。基于300mm晶圆制造系统数据进行仿真实验并与固定权重的晶圆卡运输成本模型进行比较，结果表明采用该模型能获得更优的Interbay系统多目标调度性能，表明论文提出的基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型是有效的。