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提出一种集共路干涉与相关处理为一体的非接触表面轮廓仪。这种新的结构体系克服了同类仪器中环境干扰、导轨误差及光源噪声影响，适合于高精度表面轮廓测试。仪器测量精度优于４ｎｍ。
相关共路干涉技术测量表面轮廓的研究
【摘 要】
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提出一种集共路干涉与相关处理为一体的非接触表面轮廓仪。这种新的结构体系克服了同类仪器中环境干扰、导轨误差及光源噪声影响，适合于高精度表面轮廓测试。仪器测量精度优于
【机 构】
：
上海工业大学机械自动化学院,浙江大学光电与科学仪器工程系
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
：
1994年3期
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