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铋铁氧薄膜材料作为一种室温单项多铁材料,在微电子学、光电子学、磁性存储器件等领域具有广泛应用。综述了几种制备铋铁氧薄膜方法的研究进展,并重点介绍测控溅射的方法制备的铋铁氧薄膜在不同条件参数的情况下,研究进展和薄膜现阶段在应用方面的进展,并提出未来研究的方向。
铋铁氧薄膜制备和应用研究进展
【摘 要】
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铋铁氧薄膜材料作为一种室温单项多铁材料,在微电子学、光电子学、磁性存储器件等领域具有广泛应用。综述了几种制备铋铁氧薄膜方法的研究进展,并重点介绍测控溅射的方法制备
【机 构】
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长春大学
【出 处】
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现代工业经济和信息化
【发表日期】
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2017年21期
【基金项目】
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吉林省教育厅十二五科学技术研究项目《多轶性BiFeO3薄膜的制备及性能研纪》（2014299）,吉林省产业创新专项资金项目《新型太阳能电池纳米晶薄膜,（CZTS）的制备及性质研究》（2017C052-3）
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