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三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究
三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:anan0508
【摘 要】
:
研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置,该装置在13300Pa典型气体采样压力下,三级差分抽气区的压力分别达到5×10^-1,3×10^-3,1.2×1-^-4Pa。利用该装置,已成功地实现了对活性离子
【作 者】
:
丁洪斌
刘佳宏
【机 构】
:
大连理工大学等离子体物理化学实验室
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
原位取样
离子检测
分子束质谱
三级差分抽气
Insitu sampling
Ion detection
Molecular beam mass spectro
【基金项目】
:
国家自然科学基金!(编号 1 95 75 0 0 7),,大连理工大学重点学科发展基金
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研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置,该装置在13300Pa典型气体采样压力下,三级差分抽气区的压力分别达到5×10^-1,3×10^-3,1.2×1-^-4Pa。利用该装置,已成功地实现了对活性离子物种N^+和N2^+的“原位”检测。
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