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为了提高精密定位平台的精度和行程，设计了一种新型的气动伺服定位平台。以金属波纹管为独立执行机构，采用有限元法设计了气浮导轨。以气浮导轨支撑，研究无摩擦条件下的较大行程的精密控制。对波纹管的机械特性进行分析，结合实验数据形成的迟滞初载曲线，进行参数辨识，确定基本迟滞算子的阈值和权值，建立了基于PI模型的系统迟滞模型，并对模型进行了验证。结合建立的系统迟滞模型，采用变化速率为0．5V／s和5V／s的锯齿波进行实验，结果表明：系统的迟滞模型输出很好地逼近了系统输出；开环情况下，实际逼近误差慢速信号输入逼近小于1