不同衬底温度生长的La0.5Sr0.5CoO3薄膜椭圆偏振光谱研究

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lifengxing0628

【摘要】

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采用脉冲激光沉积法（PLD）在不同Si（100）衬底温度下制备了La0.5Sr0.5CoO3（LSCO）导电金属氧化物薄膜.X射线衍射（XRD）分析表明,随着衬底温度升高LSCO薄膜的结晶质量增加,在650℃和700℃

【作者】

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李文武李亚巍胡志高朱自强褚君浩

【机构】

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华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室,华东师范大学电子工程系

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2009年6期

【关键词】

：

脉冲激光沉积法 La0.5Sr0.5CoO3薄膜椭偏光谱光学常数 pulsed laser deposition La0.5Sr0.5CoO3 films

【基金项目】

：

上海市科委基础研究重点项目（08JC1409000）,上海市科委国际合作计划项目（08520706100）,上海市科委研发公共服务平台建设专项（07DZ22943）

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采用脉冲激光沉积法（PLD）在不同Si（100）衬底温度下制备了La0.5Sr0.5CoO3（LSCO）导电金属氧化物薄膜.X射线衍射（XRD）分析表明,随着衬底温度升高LSCO薄膜的结晶质量增加,在650℃和700℃下制备的薄膜是具有单一钙钛矿结构的多晶薄膜.通过椭圆偏振光谱仪测量了400～1100nm波长范围内该导电金属氧化物薄膜的光学性质,采用双Lorentz振子色散关系及三相结构模型（Air/LSCO/Si）拟合获得了薄膜的光学常数.结果表明,薄膜的折射率随着衬底温度的升高而减小,然而在可见-近红

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