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薄膜铜铟硒太阳能电池由于前后电极间欧姆接触导致电流损耗，高阻氧化锌层可以消除因表面空洞或表面损坏造成的前后电极短路，这种作用大小取决于氧化锌薄膜表面形貌和电阻率。本论文研究了用感应耦合等离子辅助磁控溅射氧化锌薄膜在铜铟硒薄膜太阳能电池中的应用，并分析氧化锌薄膜层和铜铟硒层的界面结构特点。实验用氧化锌陶瓷靶在氧气和氩气环境下进行溅射，当溅射气压为4mTorr，射频功率300W，直流偏压30V时，制备的氧化锌具有表面形貌均匀致密，电阻率为7 × 10^8Ω、透光率80％以上等特性，与吸收层铜铟硒构成