【摘 要】
：
采用SiH4-C3H8-H2气体反应体系,通过常压化学气相淀积（APCVD）工艺在电化学腐蚀的多孔硅衬底上进行了多晶3C-SiC薄膜的生长,研究了多孔硅孔隙率对薄膜生长质量的影响.实验结果表
【机 构】
：
西安电子科技大学宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室
【基金项目】
：
国家部委预研项目资助（51308030201）
论文部分内容阅读
采用SiH4-C3H8-H2气体反应体系,通过常压化学气相淀积（APCVD）工艺在电化学腐蚀的多孔硅衬底上进行了多晶3C-SiC薄膜的生长,研究了多孔硅孔隙率对薄膜生长质量的影响.实验结果表明,当多孔硅孔隙率较低时,得到的是含有SiC（111）晶粒的多晶硅薄膜,随着孔隙率的增加,生长薄膜由富碳多孔SiC向多晶SiC薄膜过渡,表面平整度增加,并具有〈111〉晶向择优生长的特点.
其他文献
以SF6和SF6＋Ar为刻蚀气体。采用电子回旋共振等离子体刻蚀工艺成功地对溶胶．凝胶工艺制备的锆钛酸铅铁电薄膜进行了有效的刻蚀去除．研究了不同气体总漉量、混合比、微波功率等因
独立分量分析是近年来发展起来的一种可有效应用于盲源分离的多通道信号处理方法,对从观测信号中分离出信源信号有较好的性能.但独立分量分析方法的主要限制之一是信源信号统
社区卫生服务机构健康教育工作开展得如何,不仅关系到社区卫生服务机构的"六位一体"功能整体建设,同时也涉及到社区卫生服务机构的发展和提高.笔者在2006年7月走访了我市金阊
过去被认为小儿易得的“水痘”，如今却有成人化的趋势。在省中医院皮肤科，有时1小时之间，就有近10位成人看水痘，患者中以大学生为多。发病初期大多数病人都没往水痘方面想，以为是
在2006年第1期美国《管理学会杂志》（ Academy of Management Journal 2006, VoL 49, No.1）上刊登了一组三篇“美国管理学会杂志编委论坛”的文章，其讨论主题为“令人感兴趣的研
地方政府公信力下降主要表现在行为信用、政策信用、绩效信用三大层面。地方政府公信力下降对区域经济的影响表现为:政府失信与社会低信用均衡,从而导致区域经济所需要的社会
哮喘病是当今世界最常见的慢性气道疾患，2000年中国城区儿童患病率调查显示，我国城区儿童哮喘患病率为0．12％～3．34％，与10年前相比，我国城市儿童哮喘患病率呈明显上升。
刊登在《管理学会评论》2004年1月刊总第29卷第1册上（Academy of Management Review 2004，Volume 20 Number1）
目的探讨老年慢性支气管炎患者的社区护理干预及临床效果。方法选取老年支气管炎患者68例作为研究对象,治疗时间为2017年3月-2019年3月,根据不同护理方法分为参照组与研究组,