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来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
甩干机是半导体加工工艺中的关键设备,在甩干机高速运行过程中,由于转子系统的偏心所产生的离心力将导致设备振动。为将振源隔离,提高设备可靠性,对整机的振动情况和振动传递
【作 者】
:
王勇威
张伟锋
刘盈楹
胡天水
王丽江
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2018年2期
【关键词】
:
甩干机
隔振
橡胶减振器
Spin rinse dryer
Vibration isolation
Rubber absorber
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