MEMS亟待解决的七个问题

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xueluowushengkk

【摘要】

：

针对MEMS产品步入市场所面临的问题,总结出MEMS亟待解决的粘着、静电力计算、微流、纳米摩擦、检测、薄膜应力和表面粗糙度七个问题;并对粘着、静电力算、微流和检测计4个问

【作者】

：

田文超贾建援

【机构】

：

西安电子科技大学机电工程学院

【出处】

：

仪器仪表学报

【发表日期】

：

2004年z3期

【关键词】

：

MEMS 粘着静电力当量粘度系数 MEMSStickingElectrostatic forceEquivalent viscosity

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针对MEMS产品步入市场所面临的问题,总结出MEMS亟待解决的粘着、静电力计算、微流、纳米摩擦、检测、薄膜应力和表面粗糙度七个问题;并对粘着、静电力算、微流和检测计4个问题,分别提出W-S模型微观连续介质理论、电荷分布积分法、当量粘度系数修正法和SPM法4种解决方法,为MEMS的进一步研究提供理论基础.

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