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采用单片机和步进电机控制二维电动扫描平台,结合由数字信号处理器(DSP)控制的压电陶瓷微位移调整系统,组成微表面轮廓仪的三维扫描系统,提高了仪器的测量范围,并使精度达到纳米量级.
微表面轮廓仪中三维扫描系统的实现
【摘 要】
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采用单片机和步进电机控制二维电动扫描平台,结合由数字信号处理器(DSP)控制的压电陶瓷微位移调整系统,组成微表面轮廓仪的三维扫描系统,提高了仪器的测量范围,并使精度达到
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2005年4期
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