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提出了用有效时差优化彩色PDP光刻工艺参数的理论和优化设计方法，并用实例说明了该理论的实用性。
彩色PDP光刻工艺的优化理论和设计
【摘 要】
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提出了用有效时差优化彩色PDP光刻工艺参数的理论和优化设计方法，并用实例说明了该理论的实用性。
【机 构】
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南京电子器件研究所国家平板显示工程技术研究中心
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2001年3期
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