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光纤薄膜厚度监测仪ＮＲＹＣａｒａｎｔｏ等１．前言在溅射淀积涂膜过程中，当使用石英晶体微量天平之类的常规仪器进行膜的）丰度监测时，会出现几个实际的问题。例如若使测量有效，晶体在基座上的实际位置应很精确，并且，与等离于体相关的强烈的电磁场能限制溅射处理的...
光纤薄膜厚度监测仪
【摘 要】
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光纤薄膜厚度监测仪ＮＲＹＣａｒａｎｔｏ等１．前言在溅射淀积涂膜过程中，当使用石英晶体微量天平之类的常规仪器进行膜的）丰度监测时，会出现几个实际的问题。例如若使测量有效，晶体在基座上的实际位置应
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1994年3期
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