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【摘 要】
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应用两种方法对三个高精度平面进行了测试。第一种方法是Fritz的三面互检法,它利用Zernike多项式的特性拟合三个面四次组合测量得到的干涉图,然后求出三个面的Zernike多项式
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京理工大学电子工程与光电技术学院 南京210094,南京210094
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2006年05期
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