VG202MKⅡ精密硅片减薄机调试技术

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【摘要】

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VG202MKⅡ全自动精密硅片减薄机是SOI工艺的主要设备之一.由于其具有高精度、全程控等特点,设备构造较复杂,调试难度较大.文章由原理到实际、由流程到技巧,比较系统地阐述了

【作者】

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【机构】

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模拟集成电路国家重点实验室;中国电子科技集团公司,第二十四研究所,重庆,400060

【出处】

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微电子学

【发表日期】

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2004年5期

【关键词】

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VG202MKⅡ全自动精密硅片减薄机是SOI工艺的主要设备之一.由于其具有高精度、全程控等特点,设备构造较复杂,调试难度较大.文章由原理到实际、由流程到技巧,比较系统地阐述了该设备的关键调试技术.

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