薄膜应力激光测量方法分析

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【摘要】

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总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法--激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度.激光干

【作者】

：

王成马莹张贵彦肖孟超甘志宏缪同群钱龙生

【机构】

：

中国科学院

【出处】

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激光技术

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

激光薄膜应力测量 laserthin-filmstressmeasurement

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总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法--激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度.激光干涉法的精度可达0.92%,可测量的最小应力值为15.7MPa;激光束偏转法较低,为2.12%,可测量的最小应力值为25.5MPa,空间分辨率低,约为100μm.

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