新型衬底材料γ-LiAlO2热稳定性研究

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：baihuiguo

【摘要】

：

研究了温度梯度法生长的γ-LiAlO2晶体在1 100℃不同气氛处理的热稳定性.借助扫描电子显微镜和X射线衍射分析发现:1100℃/10 h真空和空气处理后的样品表面分别形成了均匀微孔

【作者】

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邹军周圣明彭观良周国清徐军

【机构】

：

中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所

【出处】

：

硅酸盐学报

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

铝酸锂衬底材料吸收光谱退火处理晶体缺陷 AnnealingCrystal defectsCrystal structureFilm preparatio

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研究了温度梯度法生长的γ-LiAlO2晶体在1 100℃不同气氛处理的热稳定性.借助扫描电子显微镜和X射线衍射分析发现:1100℃/10 h真空和空气处理后的样品表面分别形成了均匀微孔状和岛状LiAl5O8多晶;而富Li气氛处理后样品表面仍然光滑且仍为LiAlO2.用Leitz大视场显微镜观察重新抛光后样品内部宏观缺陷,发现空气和真空处理后样品缺陷增多,分别为岛状和条纹状缺陷;而富Li气氛处理后样品中缺陷明显减少.对比不同气氛处理的4块样品吸收光谱,确认了真空和空气处理产生的196 nm吸收峰可能是Li空

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