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晶圆湿法清洗设备是半导体行业中最普遍和必须的设备,其电气控制由于环境的因素有其特殊性和专业性,清洗设备中的电气控制需要配合其清洗的特殊工艺而实现。同时清洗中具有强腐蚀性,也应该考虑电气设备的安全耐腐防护。
浅析晶圆湿法清洗方式中常见的电气控制
【摘 要】
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晶圆湿法清洗设备是半导体行业中最普遍和必须的设备,其电气控制由于环境的因素有其特殊性和专业性,清洗设备中的电气控制需要配合其清洗的特殊工艺而实现。同时清洗中具有强
【机 构】
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太原艺星科技有限公司
【出 处】
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山西电子技术
【发表日期】
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2016年01期
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