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铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜是一种n型半导体光学透明薄膜,具有优异的光电转换特性.综述了磁控溅射法制备AZO薄膜的研究现状.介绍了衬底温度、溅射功率、氧分压、溅射角度、衬底类型和退火温度等工艺参数对AZO薄膜的微结构、表面形貌和光电性能的影响.展望了其今后的研究方向和应用前景.
磁控溅射法制备铝掺杂氧化锌薄膜研究进展
【摘 要】
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铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜是一种n型半导体光学透明薄膜,具有优异的光电转换特性.综述了磁控溅射法制备AZO薄膜的研究现状.介绍了衬底温度、溅射功率、氧分压、溅射角度、衬底类型
【机 构】
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商丘师范学院物理与电气信息学院,郑州大学物理工程学院
【出 处】
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信阳师范学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2017年4期
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