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采用物理气相沉积法，在加热或不加热的抛光玻璃基片上蒸镀NaCl脱膜剂，再混合蒸镀均苯四甲酸二酐（PMDA）和二氨基二苯醚（ODA）两种单体，然后在空气环境中对样品进行热亚胺化。在去离子水中脱膜后获得厚度为100nm的聚酰亚胺自支撑膜。采用傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）对样品进行化学结构分析并且根据谱线计算了不同热处理下薄膜的亚胺化程度。采用原子力显微镜，对样品进行表面形貌分析，结果表明给基片加热能改善聚酰亚胺薄膜的表面形貌。