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对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法.
微区薄层电阻测试方法的研究
【摘 要】
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对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一
【机 构】
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河北工业大学微电子技术与材料研究所
【出 处】
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河北工业大学学报
【发表日期】
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2003年3期
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